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去Co深度及薄膜厚度对金刚石薄膜-硬质合金附着力的影响

作者:邓全,满卫东,杨自立,刘伟,易剑,江南 | 金刚石薄膜硬质合金去co深度薄膜厚度附着力

摘要:金刚石薄膜与基体的附着力是影响CVD金刚石薄膜涂层刀具使用寿命的关键因素,沉积金刚石薄膜的膜-基附着力主要受硬质合金基体表面Co含量的影响。本文通过控制酸碱两步法中的酸处理时间及薄膜沉积时间,利用扫描电子显微镜、能谱仪、拉曼光谱仪、划痕测试仪等对样品进行分析检测,研究基体去Co深度及薄膜沉积厚度对金刚石薄膜的膜-基附着力的影响。结果表明:随着去Co深度的增加,膜-基附着力先增后降,但薄膜表面和截面形貌无明显变化,表明薄膜形貌主要受沉积参数影响;随着薄膜厚度增加,薄膜晶粒变大,膜-基附着力先增高后降低。去Co深度为7.1μm,薄膜厚度为19.5μm时所得薄膜的膜-基附着力最高,达到88.82 N。

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硬质合金

《硬质合金》(双月刊)创刊于1962年,由株洲硬质合金集团有限公司主管,株洲硬质合金集团有限公司;中国钨业协会硬质合金分会主办,CN刊号为:43-1107/TF,自创刊以来,颇受业界和广大读者的关注和好评。

《硬质合金》为我国硬质合金行业的权威性科技刊物,其办刊方针和宗旨是:遵循科学技术为经济建设服务的方针,面向生产科研,立足生产实践,着眼技术开发,介绍科研成果,交流生产经验,传播技术信息,推广应用技术,反映国内外动态等等,报导面非常广泛。

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